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扩散硅压力传感器的特点都有哪些?

扩散硅压力传感器的特点都有哪些?

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  • 发布时间:2020-05-17 13:30
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扩散硅压力传感器的特点都有哪些?

【概要描述】扩散硅压力传感器基于压阻效应原理,采用掺杂和扩散的集成工艺技术,并结合单晶硅晶片上的特征晶体方向,产生抗应变性,构成惠斯凳电桥。

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扩散硅压力传感器基于压阻效应原理,采用掺杂和扩散的集成工艺技术,并结合单晶硅晶片上的特征晶体方向,产生抗应变性,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅压力传感器。下面跟着小编来了解看看它的特点都有哪些吧!
1.适合制作小量程的传感器
这种硅芯片的力敏电阻器的压阻效应在零点附近的低范围部分没有死区,并且压力传感器的范围可以小到几Kpa。
2.高输出灵敏度
硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右.因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。
3.精度高
因为传感器的感知,敏感的转换和检测是由同一组件实现的,所以没有中间转换链接,并且重复性和滞后误差很小。由于单晶硅的高刚性,其变形非常小,确保了良好的线性。
4.由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片很大的位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能稳定,可靠性高。
5.由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。
6.由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。
以上就是本次小编介绍关于扩散硅压力传感器的特点,希望您可以了解。

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发布时间:2020-04-15 00:00:00

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